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제품소개
Specialty Chemicals
반도체 및 디스플레이용 케미칼
고순도 케미칼
Precursor
Photo Resist
반도체의 식각 및 세정용으로 사용되는 고순도 케미칼.
반도체 SiO2 박막 증착용의 다양한 초고순도 CVD/ALD Precursor.
반도체의 미세패턴을 구현하기 위한 재료.
TEOS (Tetraethylorthosilicate)
TiCl4 (Titanium Tetrachloride)
TEB (trimethyl Borate)
TEPO (Triethyl Phosphate)
BDEAS (Bisdiethylaminosilane)
TSA (Trisilylamine)
HCDS (Hexachlorodisilane)
BTBAS(Bistertiarybutylaminosilane)
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